Flächen
Grundfläche: 1050m2
Besuchergang: 310m2
Weißbereich: 570m2
- Klasse 3(1): 50m2
- Klasse 4(10): 50m2
- Klasse 5(100): 470m2
Energie
Strom
- allgemein: 150kW
- Sicherheitsversorgung: 500kW
- unterbrechungsfrei: 200kW
Fernkälte
Fernwärme
Gase
Zentralversorgung
Druckluft
Vakuum
Stickstoff: Qualität 6.0
Sondergase: Ammoniak, Argon, Arsin, Chlor, Disilan, Lachgas, Phosphin, Sauerstoff, Silan, Tetrafluormethan, Wasserstoff
Stickstoff Tankanlage
- Flüssigentnahme: 27000 Liter
- Gasentnahme: 12000 Liter
Lüftung
Aussenluft: 2 x 34000m3/h
Umluft: 12 x 29000m3/h
Umluft MBE: 1x 11000m3/h, 1 x 18000m3/h
Prozessfortluft: 2 x 26000m3/h
Entrauchung: 4 x 6000m3/h
Wasser
Trinkwasser
Vorentsalzung: 5µS/cm, 15m3/h
Vollentsalzung: 0,1µS/cm
Abwasserneutralisation: 25m3/h
Sicherheit
Brandmeldeanlage
Sprinkleranlage
Einbruchmeldeanlage
Sondergase
- SPS Steuerung und Überwachung
- permanente Konzentrationsüberwachung
- Doppelrohrinstallation