Periphere Technologie
Prozessierung
- Polieren Schleifen (Franz Amman)
- Läppen (Logitech PM2A)
- Sägen (Tempress 602)
- H2-Oxidation
- Legieren (Biorad)
Aufbautechnik
- DIE Kontaktierung
- Draht Kontaktierung
- Flip-Chip Kontaktierung
- Punktschweißen
Charakterisierung
- Photolumineszenz
- Röntgendiffraktometer (Philips)
- REM (Zeiss Leo 982)
- AFM (DI D3100SPM)
- Hallmessung (Bruker)
- Reflexionsspektrometrie
- Hochfrequenz-Messplatz
- Signal Analyse (Tektronik CSA 8563E)