Nanokristalline Diamantbeschichtung

Die Diamantbeschichtung gehört seit circa 15 Jahren zu den Forschungsschwerpunkten des Instituts. Die Herstellung der Diamantschichten erfolgt dabei mit Hilfe der Hot-Filament-Gasphasenabscheidung (HF-CVD). Schon früh setzte das Institut dabei den Schwerpunkt auf nanokristalline Diamantschichten, da diese in Bezug auf ihre Schichteigenschaften und ihre Anpassbarkeit an potentielle Anwendungen im Vergleich zu polykristallinem Diamant überlegen sind.

Während zu Beginn der Forschung der Fokus darauf lag, möglichst nanokristalline, ultraglatte Diamantschichten mit kleinen Kristallitgrößen (< 10 nm) herzustellen (beispielswiese im BMBF-Projekt 3D-NANOWERK mit dem Ziel, die 3D-Diamantbeschichtung von Werkzeugen für eine anschließende Schärfung zu optimieren), ist durch die Entwicklung von hoch-leitfähigen nanokristallinen Diamantschichten (c-ncd – conductive nanocrystalline Diamond) ein zweites Standbein hinzugekommen. Diese Schichten wurden in Hinblick auf Anwendungen in der Sensorik (beispielsweise im BMBF-Projekt C-HYBRID  für die Entwicklung eines Drucksensors für harsche Umgebungsbedingungen) und Aktorik (beispielsweise im BMBF-Projekt VIP-DiM für die Entwicklung eines thermischen Mikroaktors auf Diamantbasis zum Einsatz in der Augenheilkunde) entwickelt.