Beispiele

Hier erhalten Sie einen Einblick in verschiedene Beispiele unserer Service-Forschung.

Service für die Universität

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Die Arbeitsgruppe Materialwissenschaftliche Elektronenmikroskopie innerhalb der ZE Elektronenmikroskopie führt elektronenmikroskopische Serviceuntersuchungen für Mitglieder der Universität Ulm durch.

Die Elektronenmikroskopie wird vorzugsweise dann für Strukturuntersuchungen eingesetzt, wenn das Auflösungsvermögen der Lichtmikroskopie nicht mehr ausreicht, d.h. wenn Präparate mit strukturellen Details in der Größenordnung von weniger als einem Mikrometer untersucht werden sollen. Es werden prinzipiell zwei Arten der Elektronenmikroskopie eingesetzt: die Rasterelektronenmikroskopie (REM) zur Untersuchung von Oberflächen und die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zur Untersuchung von Strukturen im Probeninneren. Im REM kann eine Ortauflösung von minimal 1 nm erzielt werden. TEM ermöglicht prinzipiell eine atomare Auflösung von weniger als 0.1 nm.

Dies setzt aber dünnste Proben von wenigen Nanometern Dicke (typischerweise <50 nm) voraus. Zur Probenpräparation solcher dünner TEM-Schnitte als Vorbereitung für die eigentliche elektronenmikroskopische Untersuchung im TEM steht ein breites Spektrum von Präparationsverfahren zur Verfügung.

Analytische Techniken (energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDXS) und Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)) ermöglichen es, die chemische Zusammensetzung der Proben zu analysieren. Chemische Analysen können mit einer außerordentlich hohen räumlichen Auflösung im (Sub)-Nanometerbereich durchgeführt werden, so dass chemisch auf Nanometerskala inhomogene Proben charakterisiert werden können.

Weiterhin können Nanostrukturierungen mit einem kombinierten fokussierten-Ionenstrahl(FIB)/REM-System durchgeführt werden, das auch für die Zielpräparation von TEM Proben eingesetzt wird.